请问PVD的原理是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/09 03:58:38
请问PVD的原理是什么?请问PVD的原理是什么?请问PVD的原理是什么?离子镀膜(PVD镀膜)技术,其原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离,在

请问PVD的原理是什么?
请问PVD的原理是什么?

请问PVD的原理是什么?
离子镀膜(PVD镀膜)技术,其原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离,在电场的作用下,使被蒸发物质或其反应产物沉积在工件上