用磁控溅射法法制备二氧化硅薄膜,二氧化硅薄膜的硬度与通氧量有什么关系?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/17 06:58:23
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在辉光放电的气压范围内,通氧量越大,SiO2薄膜越接近化学计量比,薄膜硬度越高.再者,可以通过提高基片温度增加薄膜硬度.