半导电薄膜有哪些

来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/05/10 21:17:25
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半导电薄膜有哪些
半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜.
半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜.
绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等.
金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜.
工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜.

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