单晶炉对氩气的纯度要求

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/15 17:51:19
单晶炉对氩气的纯度要求单晶炉对氩气的纯度要求单晶炉对氩气的纯度要求氩气作为生产单晶硅过程中的保护气,其纯度必须满足五个九,也就是纯度大于99.999%.

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单晶炉对氩气的纯度要求
氩气作为生产单晶硅过程中的保护气,其纯度必须满足五个九,也就是纯度大于99.999%.