真空炉一般用什么泵
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/05/04 15:01:35
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真空炉,一般用双级旋片真空泵加罗茨真空泵组成机组形式,机组代号JZJX ,极限真空度可以达到-0.06帕；如极限真空不够工艺要求,可以在加扩散真空泵,串联成扩散罗茨旋片真空机组,设备代号STK ,极限真空可以达到1*10的负4帕.
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