京运通单晶炉要求氩气流量 .压力是多少?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/22 20:52:03
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京运通是用浮子流量计,那么晶体生长氩气流量一般推荐用30slpm,压力为>4.5kg/c㎡