光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/22 21:30:21
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光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶

光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶
可能是匀胶后边缘的光刻胶有堆胶现象,如果采用的是接触式曝光,那么掩模板和晶片之间就会有间隙,造成曝光出现虚影,因此要去除掉边缘的光刻胶.