微电子中扩散工艺和离子注入工艺过程?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/18 03:19:10
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扩散就是有掺杂源在高温下往衬底中进行扩散呀,离子注入就是高速杂质粒子撞击注入衬底