如何从碎硅片中提取硅
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/05/08 15:00:33
如何从碎硅片中提取硅如何从碎硅片中提取硅如何从碎硅片中提取硅切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片.此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣. 退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至
如何从碎硅片中提取硅
如何从碎硅片中提取硅
如何从碎硅片中提取硅
切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片.此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣.
退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层.
倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度.此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣.[1]