如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注：厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/05/23 16:54:53

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如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
注：厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

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