直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/05/08 09:37:44
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直流磁控溅射只能使用金属靶材,射频(13.56MHz)溅射由于高频的场效应可以使靶材的应用扩展到非金属材料,比如陶瓷材料等等.